Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Entwicklung und Realisierung von Steuersoftware für Rasterelektronenmikroskope in Hinblick auf deren Anwendung in Testverfahren der Mikroelektronik / vorgelegt von Stanislav Simeonov |
Person(en) | Simeonov, Stanislav (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1994 |
Umfang/Format | 146 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
Hochschulschrift | Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 |
Schlagwörter | Rasterelektronenmikroskop ; Bedienstrategie ; Programmiersprache ; Mikroprozessor ; Messsystem |
Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 28 Informatik, Datenverarbeitung ; 29 Physik, Astronomie |
Frankfurt |
Signatur: H 1995 A 3982
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: H 1995 A 3982
Bereitstellung in Leipzig |