Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/968689035 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties / vorgelegt von Thomas A. Wagner |
Person(en) | Wagner, Thomas (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 2,4 MB |
Hochschulschrift | Stuttgart, Univ., Diss., 2003 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-14839 |
URL |
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1483/pdf/diss_final.pdf (kostenfrei zugänglich) http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1483/index.html (Verlag) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | Epitaxie ; Ionenstrahl ; Niedrigtemperatur ; Silicium ; Schichtwachstum ; Epitaxieschicht |
Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie |
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