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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel In-situ-Messungen der mechanischen Spannungen in gesputterten Metall- und Oxidschichten / vorgelegt von Robert Jens Drese
Person(en) Drese, Robert Jens (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 18,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Drese, Robert Jens: In-situ-Messungen der mechanischen Spannungen in gesputterten Metall- und Oxidschichten
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-12740
URL http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus/volltexte/2005/1274/pdf/Drese_Robert.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus/volltexte/2005/1274/index.html (Verlag)
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 531.381 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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