Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/991379047 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | The twin epipoly process : a foundry process flow for a microfluidic application kit in silicon/glass / Tjalf Pirk |
| Person(en) | Pirk, Tjalf (Mitwirkender) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | VIII, 155 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm, 284 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: The Twin Epipoly Process |
| Hochschulschrift | Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2008 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-7644-7 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783832276447 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Microfluidics & nanofluidics ; Bd. 4 |
| Schlagwörter | Mikrofluidik ; Glas ; Silicium ; Polykristall ; Epitaxieschicht ; Prozesssteuerung |
| DDC-Notation | 629.8042 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 93917 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 A 119162 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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