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Personen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/140251170
Person Reinicke, Marco
Zeit Lebensdaten: 1977-
Land Deutschland (XA-DE)
Geografischer Bezug Geburtsort: Merseburg
Weitere Angaben Diss. Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Typ Person (piz)
Autor von 3 Publikationen
  1. Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges
    Reinicke, Marco, 2009
  2. Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges
    Reinicke, Marco. - Dresden : Techn. Univ., 2009
  3. ...





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