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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4172791-5
Sachbegriff Organisches Dielektrikum
Quelle analog
Oberbegriffe Dielektrikum
DDC-Notation 620.195
Systematik 31.9a Elektrotechnik, Elektrische Energietechnik
Thema in 1 Publikation
  1. Untersuchung von organischen fluorierten Kohlenwasserstoff CVD-Plasmaschichten als Intermetalldielektrika in der Mikroelektronik
    Mergenthaler, Egon, 2001





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