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a bibo:Article;
dc:title "Zur Frage der seitlichen Ionenstreuung bei der Implantation in amorphen und polykristallinen Festkörpern";
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dcterms:description "The regularities of lateral scattering of ions in amorphous and polycrystal targets were derived. In contrary to well known LSS' method the proposed theoretical procedure enables to calculate root‐mean‐square deviations of ranges and lateral ranges for arbitrary ratios of target atom to ion masses within a wide range of energies from several MeV to energies near the binding energy of the atoms in solids. The theoretical estimates of root‐mean square lateral deflection of ions are in good agreement with experimental results of different authors."@de,
"Abstract: In der Arbeit werden Gesetzmäßigkeiten für die seitliche Ionenstreuung in amorphen und polykristallinen Festkörpern angegeben. Im Unterschied zu bekannten Lösungen der LSS‐Theorie erlauben diese Gesetzmäßigkeiten die Berechnung der mittleren quadratischen seitlichen Ablenkung der Ionen bei beliebigen Massenverhältnissen von Targetatomen und auftreffenden Ionen in einem breiten Energiebereich, von einigen MeV bis zu Energiewerten nahe der Bindungsenergie der Atome im Festkörper. Die theoretischen Abschätzungen der mittleren quadratischen seitlichen Ionenablenkung befinden sich in guter Übereinstimmung mit experimentellen Werten verschiedener Autoren."@de;
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bibo:issue "14.2006, 7";
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