Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten Dienstag, 18. Februar bis Montag, 24. Februar 2025, 11:00 Uhr: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Inbetriebnahme der Medienausleihe und der angrenzenden Lesesäle erfordert diese Schließzeit.
 
Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt bleibt vom 10.03. bis 22.03.2025 wegen Umbauarbeiten geschlossen.
 
 

Ergebnis der Suche nach: nid=1299519369



Treffer 1 von 1 < < > <



Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/1299519369
Sachbegriff EUV-Lithografie
Quelle Wikipedia (Stand: 17.08.2023): https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=EUV-Lithografie&oldid=234525749
Erläuterungen Definition: Fotolithographieverfahren, das Strahlung aus dem Spektrum Extremes Ultraviolett (EUV) verwendet.
Synonyme EUVL <Halbleitertechnologie>
Extreme Ultraviolet Lithography
Oberbegriffe Lithografie <Halbleitertechnologie>
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)





Treffer 1 von 1
< < > <


E-Mail-IconAdministration