Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: nid=1299519369
![]() |
|
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/1299519369 |
Sachbegriff | EUV-Lithografie |
Quelle | Wikipedia (Stand: 17.08.2023): https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=EUV-Lithografie&oldid=234525749 |
Erläuterungen | Definition: Fotolithographieverfahren, das Strahlung aus dem Spektrum Extremes Ultraviolett (EUV) verwendet. |
Synonyme |
EUVL <Halbleitertechnologie> Extreme Ultraviolet Lithography |
Oberbegriffe | Lithografie <Halbleitertechnologie> |
Systematik | 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
