Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten 30.04.2025: Die Lesesäle im Hauptgebäude der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig schließen wegen einer Veranstaltung um 14 Uhr. Der Museums- und der Musiklesesaal sowie der Servicebereich sind bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // The reading rooms in the main building of the German National Library in Leipzig will close at 14:00 due to an event. The museum reading room, the music reading room and the service area are open until 18.00. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4182614-0
Sachbegriff Sputtern
Quelle - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Erläuterungen Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Synonyme Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Sputterverfahren
Oberbegriffe Zerstäubung
PVD-Verfahren
DDC-Notation 530.416
667.9
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Untergeordnet 5 Datensätze
  1. DC-Sputtern
    Sputtern
  2. Gasflusssputtern
    Sputtern
  3. ...
Thema in 183 Publikationen
  1. Einfluss des Beschichtungswinkels auf die Phasenbildung beim reaktiven Sputtern
    Haus, Lea. - Freiberg : Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2024, 1. Auflage
  2. Energy-induced nanoparticle-substrate interactions
    Choupanian, Shiva. - Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2023
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 38 Publikationen
  1. Magnetron sputtering of magnetic thin film materials for spintronics
    Scheffler, Daniel. - Dresden : Technische Universität Dresden, 2025
  2. Roll-to-roll sputtering of thermochromic VO2-based coatings onto ultra-thin flexible glass
    Szelwicka, Jolanta. - Dresden : Technische Universität Dresden, 2024
  3. ...





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