Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: nid=4182614-0
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4182614-0 |
Sachbegriff | Sputtern |
Quelle | - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung |
Erläuterungen | Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren |
Synonyme |
Festkörperzerstäubung Ionenzerstäubung Ionstrahlsputtern Kathodenzerstäubung Sputtering Ionenstrahlsputtern Sputterdeposition Sputterverfahren |
Oberbegriffe |
Zerstäubung PVD-Verfahren |
DDC-Notation |
530.416 667.9 |
Systematik | 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
Andere Normdaten |
LCSH: Sputtering (Physics) RAMEAU: Pulvérisation cathodique |
Untergeordnet |
5 Datensätze
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Thema in |
183 Publikationen
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Maschinell verknüpft mit |
38 Publikationen
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